Contributors in 分析化学
Analytical chemistry
電子プローブX線マイクロアナライザー
化学; 分析化学
試料表面中の微小部分に、きわめて細く絞った電子線を照射すると、試料を構成する電子の内殻電子が殻外にとび出し、励起された原子は、その元素に固有の波 長を有する特性X線を放出して安定化する。この特性X線を検出することにより元素分析を行うことができる。EPMAにおいては、10~30eVのエネル ギーをもつ電子を固体試料表面で10~100nm径程度に絞って照射するのがふつうであり、特性X線の発生する領域は ...