A silicon wafer is a thin, circular slice of single-crystal semiconductor material used in manufacturing of semiconductor devices and integrated circuits.
産業: 半導体
プロセスの多くのウェーハ同時に、単一ウェハ プロセスに反対する処理します。
選択的な etch は、加速のエッチング レート特定結晶方向を展示します。
異なる結晶方向の物理的特性を展示します。
ソリューション、ソリューションの混合物またはフィルムまたは基板の表面を攻撃する気体の混合物は、選択または非選択して材料を除去します。
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